Ra0.2um, 170W/m·K의 질화알루미늄 세라믹 기판

산업용 세라믹의 성능

알루미나 나이트라이드(AlN)
특성 항목 AlN180 AlN200 AlN220 단위
기계적 특성 색상 회색 베이지색
기계적 특성 밀도 3.3 3.28 g/cm³
기계적 특성 굽힘강도 ≥350 MPa
기계적 특성 압축강도 2500 – MPa
기계적 특성 탄성계수 320 GPa
기계적 특성 비커스 경도(하중 500g) 10 9.5 9 HV0.5
열적 특성 선형 열팽창 계수 4.8 4.6 4.5 10-6K-1
열적 특성 열전도율(20℃) 180 200 220 W/m·K
전기적 특성 20℃에서의 체적 저항 >1014 >1013 cm
전기적 특성 유전 강도 ≥15 KV/mm
전기적 특성 유전율(1MHz) 9 8.8 8.6 εr
전기적 특성 손실 정탄 5 3 10-4

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