ALN 热导率氮化铝陶瓷块: 氮化铝(ALN)兼具高热导率与优异的电气绝缘性能,因此成为众多电子应用的理想材料。氮化铝的热膨胀系数接近硅,且具有出色的等离子体耐受性,广泛应用于半导体加工设备的零部件。
特性: 1.优异的导热性能 2. 热膨胀系数与硅相近 3.良好的介电性能 4.良好的耐腐蚀性 5. 在半导体加工气氛中表现出良好的稳定性
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