High-Performance Aluminum Nitride Gold-Plated Substrate for Power Lasers and Optical Communication

项目 单位 Si3N4 AlN ZTA BeO
密度 g/m³ 3.2 3.3 4 3
热导率 W/m.K@25℃ ≥80 ≥170 ≥27 ≥250
Coefficient of Thermal Expansion X10-6/K(20℃-300℃) ≤2.6 ≤4.3 ≤7.5 ≤9
Flexural Strength MPa ≥700 ≥450 ≥500 ≥190
介电强度 kV/mm ≥15
Dielectric Loss 1MHz 0.0003
介电常数 1MHz 9 10.5 6.9
体积电阻率 Ω·cm@ 20 °C 10(14)
Young’s Modulus Gpa 320 310 /

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