피롤리틱 붕소질화물은 육방정계 결정구조를 가지며 특수 세라믹 재료로, 순도는 99.999%에 달합니다. 내산성과 내알칼리성, 내산화성이 우수하고 열전도율이 좋아 가공이 가능합니다. 피롤리틱 붕소질화물의 증착 과정은 마치 “눈이 내리는 것’과 같으며, 붕소질화물의 작은 육각형 눈송이들이 흑연 기판 위에 평행하게 한 겹씩 쌓여 일정 두께에 도달한 뒤, 최종적으로 냉각 및 탈형을 통해 제작됩니다.
PBN 세라믹의 주요 특성
1. 높은 순도(>99.99%)
2. 높은 밀도(>2.12g/cm3)
3. 고온에서도 가스가 발생하지 않습니다.
4. 두께가 균일하여 가열의 일관성이 우수합니다.
5. 우수한 열전도성과 열충격 저항성을 갖습니다.
6. 층간 강도가 높아 세척이 용이하며 반복 사용이 가능합니다.
7. 화학적으로 비활성으로, 고온에서 산, 알칼리, 염 및 유기용매와 반응하지 않습니다.
PBN 세라믹의 대표적인 응용 분야
1. GaAs, InP, GaP 등 반도체 단결정의 현장 합성용 도가니.
2. 기타 III-V 계열 화합물의 단결정 또는 다결정 합성용 도가니 및 보트.
3. 분자빔 에피택시용 MBE 도가니.
4. 어닐링로용 PBN/PG 복합 소재 히터 코팅.
5. 고온 진공로 내 절연 부품.
6. 흑연 가열기 절연 코팅.
7. 고온 절연 노즐.
8. MOCVD 절연 보드.
9. 특수 형상의 도가니 및 특수 형상 흑연 부품 코팅.
10. 특수 금속공학용 도가니
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