热解氮化硼属于六方晶系,是一种特种陶瓷材料,纯度可达99.999%,具有优异的耐酸碱性、抗氧化性和良好的导热性能,且易于加工。热解氮化硼的沉积过程犹如“雪花飘落”,六方结构的小片状氮化硼平行地一层层附着在石墨基体材料上,逐渐达到一定厚度,最后通过冷却与剥离制成成品。
PBN陶瓷的主要性能
1. 高纯度(>99.99%)
2. 高密度(>2.12g/cm³)
3. 高温下不释放任何气体
4. 厚度均匀,加热一致性好
5. 优异的导热性能和抗热震性能
6. 层间结合强度高,易于清洗并可重复使用
7. 化学性质稳定,在高温下不与酸、碱、盐及有机溶剂发生反应
PBN陶瓷的典型应用
1. 用于原位合成砷化镓、磷化铟、磷化镓等半导体单晶的坩埚。
2. 用于合成其他III-V族化合物单晶或多晶的坩埚及舟。
3. 用于分子束外延技术的MBE坩埚。
4. 用于退火炉的PBN/PG复合加热器涂层。
5. 高温真空炉中的隔热部件。
6. 石墨加热器绝缘涂层。
7. 高温绝缘喷嘴。
8. MOCVD绝缘板。
9. 特殊形状的坩埚及特殊形状石墨部件的涂层。
10. 特种冶金用坩埚
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